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BAG402 中到超高真空真空计INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装,在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。独特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。6个Edwards Active真空计3个BAROCEL 7025M或7025和任意3个其他Edwards Active真空计1个BAROCEL 7045或7100,2个BAROCEL 7025或7025M,以及任意3个其他Edwards Active真空计紧凑型仪器比主要竞争对手的对流真空计小很多本地状态指示LED 在规头指示设定点和真空计的状态对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度镀金钨丝机械强度高、坚固耐用、不易受机械冲击和振动影响各种法兰的选择合规和标准:CE、RoHS直接取代 Granville-Phillips® Convectron® 仪表传感器(相同插头/引脚分配)(Granville-Phillips®、Convectron® 和 Mini-Convectron® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标)PGE050 可接受 Granville-Phillips® Convectron® 控制器、电缆和模块(Granville-Phillips®、Convectron® 和 Mini-Convectron® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标)ASG隔膜真空计Edwards ASG2是坚固、防腐蚀的隔膜真空计,可进行与气体无关的准确测量,范围从 2000 mbar 到 1 mbar 以及 1000 mbar 到 1 mbar。它可用作独立的传感器,便于 OEM 和系统承建商开发灵活的低成本解决方案,满足其真空设备的需求。另外,它还可以连接到 TIC 仪器控制器,与其他很多类型的传感器结合使用,提供全面的真空仪器解决方案。VSP 1000到1x10-4mbar 皮拉尼应用实例塑料元件经常被加以金属镀膜,这抑或出于美观考虑,抑或为了屏蔽敏感元件免受干扰。挑战金属镀膜是在一个PVD镀膜系统中进行。它首先由一个旋片泵通过旁路抽至10-2mbar。然后由涡轮分子泵进一步抽至10-5 mbar。镀膜工艺通常在2x10-4 mbar下进行,此时需要连续地监控真空状态,以确保镀膜工艺持续不断地高质量运行。为了避免涡轮分子泵超负荷,例如在不恰当的系统压力下切换到分子泵等,旁路中的压力以及涡轮分子泵的前级真空都需要被监控。解决方案用一个VSP 皮拉尼真空规控制旁路中的真空是否足以切换到涡轮分子泵。另一个VSP直接在涡轮分子泵处监控分子泵所需要的前级真空。一个VSM宽量空规测量系统内的极限真空度以及在镀膜过程中的压力。一台VD10多通路真空计用来做控制模块。应用领域分析仪器真空炉镀膜设备前级真空控制真空系统中的安全开关