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现今，洁净技术已广泛应用于各行各业的产品生产或其他要求防止粒子污染、微生物污染的环境控制，由于各行各业的产品特性不同、各种产品的生产工艺不相同、使用要求不同，因此要求控制环境的内容、指标均不会相同。所谓洁净室的环境控制的内容应该包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪音、静电的控制、防止等。所以洁净室的设计不仅要求对室内的空气进行净化达到规定的空气洁净度等级，还必须防止因洁净室的建造用材料、装饰方式不当带来的污染；有点洁净室还要求供给超纯水、超纯气体和高纯的化学品等。恒温恒湿车间的洁净技术要求，根据污染微粒的性质我们将空气洁净分为两大类，即：1、 工业洁净，以工业生产为目的的空气洁净过程，其控制对象为空气中无生命的微粒，如灰尘尘粒等。2、 生物洁净，以保健为目的的空气洁净过程， 其控制对象为空气中有生命的微粒，如细菌、病毒及其载体等。恒温恒湿净化车间温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。 具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。恒温恒湿净化车间也叫无尘车间、洁净室(Clean Room)，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。为了做好恒温恒湿净化车间，针对装修中常见问题一起来了解下：1、故障现象：空调新风口过滤器没有及时清理 故障结果：由于新风口堵塞造成新风进风量不足，输出风流量不够，无尘室正压不足。 解决办法：每7天检查一次新风口过滤网，发现脏污及时清洗或换。 2、故障现象：新风口过滤网缺少一块没有装故障结果：由于失去新风口过滤器的保护，初效过滤器换几天后就很快的堵塞失效。解决办法：自制或外加工一块新风口过滤器，保障所有进入初效过滤器的新风全部经过过滤。 3、故障现象：初效过滤器脏污堵塞故障结果：新风、回风混合进风量不足，空调风机输出流量不够造成无尘室正压不足。解决办法：每月（30天）进行一次清洗，清洗三次后换新的滤布 4、故障现象：空调风机皮带太松或断开脱落故障结果：无尘室正压很小或没有正压。解决办法：每班检查一次。 5、风机轴承每月（30天）加注一次润滑油脂，否则电机轴承会卡死烧毁电机。 6、每月进行一次空调箱体包括内外表面、风机机身叶片的清洗工作，保证空调机组任何部位都洁净无灰尘。 7、每年清理一次表冷器表面的积灰，保证换热效果 故障现象：中效袋式过滤器脏污堵塞 故障结果：空调送风量不足，无尘室正压不够。解决办法：每两月（60天）清洗一次过滤袋，清洗三次后换。 8、故障现象：空调新风阀、回风阀、送风阀设置位置不对。 故障结果：新风量不够，无尘室正压不足。 解决办法：将新风阀、回风阀、送风阀打在合适位置，以无尘室内正压大于或等于15Pa为宜。 9、故障现象和结果：无尘室正压正常，但无尘室室内温度居高不下。 解决办法：检查冰水管手动阀应打开；检查自动控制阀应无故障，确实能够自动开启阀芯。 10、故障现象：高效过滤器长久没有换或失效。 故障结果：无尘室正压不足或高效过滤器因穿透而失去净化过滤的保护作用，无尘室内细菌、微生物上升。 解决办法：保持无尘室正常运行，停止运行时无尘室内空气湿度不能太高（高效空气过滤器为纸质材料，吸湿后很快就会失效）。高效过滤器每8个月进行一次换。
