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三维轮廓仪背测式载物台设计和两种测量模式的开发 在应用光机电算集成化技术的基础上，本作品的载物台采用背测式结构，即载物台位于被测表面与物镜之间，物镜通过载物台通光孔检测样品表面形貌信息。同类仪器采用试件非工作面定位测量方式，这种方式存在重复性差、稳定性低的难题。本作品不仅克服了以上难题，而且打破了对被测样品横向尺寸的限制。采用正置测量模式时，完成小口径元件的检测；采用倒置模式时，完成大口径元件的检测。三维轮廓仪在优化光路结构基础上，采用高精度的调整平台来解决这一问题，其调节精度达到亚微米量级，有效调节被测件的三维倾斜和轴向位移，为干涉成像提供保证。 (2) 干涉条纹定域区间优选和移相精度校准 由于干涉波列长度的减小，不仅使成像面干涉条纹数减少，还使干涉条纹对比度随光程差增大而迅速衰减，这就给从干涉条纹变化中解调相位信息带来了困难。三维轮廓仪具体研究成果体现在以下几个方面： (1) 短相干光干涉条纹的定位技术 LED短相干光与激光相比具有较短的干涉波列长度，消除了干涉显微系统中难以避免的激光散斑干扰，提高了成像质量。但干涉波列长度的减短导致获取干涉条纹遇到困难，要求被测表面的定位精度必须接近1微米。蓝海精密这款三维轮廓仪是进口的高精度多功能表面轮廓测量仪器，也是一款光学轮廓仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析，以标准方案或定制性方案对2D轮廓或三维轮廓表面形貌和表面纹理，微米和纳米形状，圆盘，圆度，球度，台阶高度，距离，面积，角度和体积进行多范围测量。三维表面轮廓仪根据国际标准计算2D和3D参数，使用新的ISO 25178 标准表面纹理分析，依靠新的 ISO 16610 滤除技术进行计算，从而保证了国际公信力。三维表面轮廓仪创造性地采用接触式和非接触式测量合并技术，一套表面轮廓仪可同时具有接触式和非接触式测量的选择。表面轮廓仪应用：测量轮廓，台阶高度，表面形貌，距离，面积，体积分析形态，粗糙度，波纹度，平整度，颗粒度摩擦学研究，光谱分析三维轮廓仪广泛用于：磨料磨具，航天，汽车，化妆品，能源，医疗，微机电系统，冶金，造纸和塑料等领域。
