价格：1000.00起
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YM-RL系列罗茨泵机组组成YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。用途冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。优点• 无油、干燥、清洁。• 在低温领域的均热化。• 大抽速，可以缩短排气时间。• 优良的耐腐蚀性。• 低噪音、低震动。株式会社ULVAC以独创真空技术为基础，为先端技术应用及精细加工工艺为追求的研究开发型综合企业集团。 宁波爱发科真空技术有限公司成立于1995年，注册资本为2520万美元，是爱发科集团在中国投资的家企业。目前已成为爱发科在中国的真空泵及附属品生产基地，是集真空泵、真空测量及真空非标制品的生产、销售、售后服务一体的国家高新技术企业。作为追求真空极限（Ultimate in Vacuum）的真空技术先驱，在能源、电子、光学、未来显示技术、半导体器件、环保、医药、食品、生物工程、家电、自动化生产线等领域广阔应用，推进发展各种制造与应用设备。 秉承爱发科固有的工匠精神及日本先进的技术和本地的制造优势，为中国乃至世界的制造业及科技发展做出贡献。GLD系列油旋片式真空泵特长GLD系列是一种高性能、高质量、高可靠性的油旋片式真空泵。为了更好地提高散热效果，GLD系列产品在散热片部分进行了创新设计，从而实现了同类产品无可比拟的高真空。它还具有油位观察大，便于确认油污染状况、低震动、低噪音等优点。用途冰箱、空调、饮水机自动抽空线、照明理化学实验用、分析仪器用、激光应用机器、真空排气设备、电子显微镜的泵、半导体制造设备、溅射设备、真空镀膜设备、真空干燥器。NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵特长NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。低噪音、低振动优良的耐腐蚀性标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。选购件可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。用途• 活性气体（CVD、刻蚀等）。• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。• 冷冻干燥等水蒸气排气。
