佛山探头价格 宝应真空计 275 Mini-Convectron
价格：1000.00起
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行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2020-12-13
PCG55x 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼电容膜片式测量仪 (PCG55x) 将 INFICON 皮拉尼技术与陶瓷电容膜片传感器的优点结合在单一产品中。
在 10 mbar 和大气压力之间的测量范围内，电容隔膜技术不受气体类型限制，能够提供高度精确的可靠压力测量值。PCG55x 还拥有各种功能，可针对条件苛刻的应用进行正确的产品配置。
Active 系列提供各类型的真空计，该系列真空计基于各种测量原理进行工作，并具有传统的模拟输出，该系列涵盖从超高真空到超压的相关真空范围。真空计的输出电压，与压力成正比，可以在三个控制器上显示为压力或通过模拟输入读入进行远程操作。每种测量技术都可用于独立传感器或与互补测量技术结合，以在整个真空范围内获得性价比。
特点
在恶劣环境下，使用寿命长
低杂散磁场
零维护 - 可换插头
超紧凑尺寸
可靠的快速点火
抗腐蚀馈入装置
可选测量电流
运用薄膜传感器技术，该产品可以提供近大气端的精确的绝压测量并能提供大气端真空腔室内精准的相对压力指示。独有的传感器设计消除了在高压力下影响热损失传感器特性的热效应。这种小型模块复合了全部四种传感器及控制电子器件于一个紧凑的一体化设计中，减少了腔室真空规管的需求数量并小化所占空间。全量程压力测量可以通过单一模拟量信号或可选的串行RS485或DeviceNet数字协议输出。RS485和DeviceNet版本产品可以多选择三个设定点继电器用于工艺控制，可以在真空压力测量范围内设定任意压力值或者指定相对压力值。
Granville Phillips Micro-ion真空规是世界上非常小的电离真空规，其压力测量基干带电电子与真空规管中气体分子碰括所产生的离子电流的量。通过多种改进，在小体积内取得了高性能。这些改进包括获得专利的双离子收集极设计，可以优化电子运动和离子收集。双灯丝限度地减少了计划外停机。由于有第二根灯丝做规管可以工作到定期维护时再更换。超清洁结构(包括所有组件的真空烧制和在洁净度100级的洁净室环境中的组装)确保在真空室抽气的过程中快速、可重复的响应。
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要高于2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够监控镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来监控小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程都在皮拉尼的监控之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显着提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到超高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉
