甘南真空规 靖江真空计 347 Stabil-Ion
价格：1000.00起
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关 键 词：甘南真空规
行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2020-12-01
Edge? CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar
INFICON Edge 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的极其准确的真空测量仪表。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还有 EtherCAT 现场总线接口可供选择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温，并节约宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中小的真空测量仪器。
应用
前级真空测量（低真空测量）
真空系统回路
电离真空计连锁应用
测真空的一般应用
VGC501 系列真空计控制器可与各种 INFICON 真空计一起使用，能够监测 10?¹? 至1500 mbar（10?¹? 至 1125 Torr）的完整真空压力范围和设定点状态并记录相关数据。
应用
预抽真空，前级真空压力测量，真空设备，中度真空和低真空范围内的一般真空测量和控制
Edwards APG100-XM 是标准型号，可测量到10-3 mbar。APG100-XLC 是抗腐蚀型号，可测量到 10-4 mbar。nAPG是数字型真空计，支持RS232和RS485信号输出。
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要精确测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规监控，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被精确地测量。VSR快速的响应时间以及精确的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
