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关 键 词:成都钨钛合金靶材费用
行 业:冶金 有色金属 铅
发布时间:2020-11-24
液态钛简直能溶解一切的金属,因而能够和多种金属构成合金。钛参加钢中制得的钛钢坚韧而赋有弹性。钛与金属Al、Sb、Be、Cr、Fe等生成填隙式化合物或金属间化合物
钨钛合金薄膜具有电阻率低,导电导热性、耐腐蚀性能、化学稳定性好,热膨胀系数低等优点,满足集成电路对扩散阻挡层的性能要求,广泛应用于微电子行业
氧含量是钨钛合金性能判定的一项重要指标,氧易在溅射过程中形成细小离子,削弱薄膜阻挡能力,使其使用性能变差
由于纯钨很脆,难以加工,所以钨大多数都是与其他的金属形成合金或以钨的化合物被广泛运用。