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关 键 词：武汉钨钛合金靶材费用
行 业：冶金 有色金属 铝
发布时间：2020-11-20
钨钛合金属于一种硬质合金,加工工艺为粉末冶金,按一定配比将高纯度金属钨粉与钛粉混合后以球磨机混匀,再经过惰性气体–真空炉,用真空热压、热等静压等设备烧结而成,通常作为合金靶材
金属钨 与 金属 Ti 通过粉末冶金的方式 制备的合金材料，通常有W-10Ti at% 主要应用于集成电路的薄膜制程
氧含量是钨钛合金性能判定的一项重要指标,氧易在溅射过程中形成细小离子,削弱薄膜阻挡能力,使其使用性能变差
液态钛简直能溶解一切的金属，因而能够和多种金属构成合金。钛参加钢中制得的钛钢坚韧而赋有弹性。钛与金属Al、Sb、Be、Cr、Fe等生成填隙式化合物或金属间化合物
