云南探头 泰兴真空计 275 Mini-Convectron
价格：1000.00起
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关 键 词：云南探头
行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2020-09-15
SKY? CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质，极具成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
特点
电子模块与规头合并在一起，降低了系统成本并节省了宝贵的机架空间
低输出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供别的抗扰性，并允许使用长电缆（长可达 100 m）
低磁场型 XL 适用于敏感性应用，例如质谱分析和电子显微镜。
可更换的管体允许快速更换管件而无需预校准
已获 CSA C/US 认证
AIM冷阴极真空计
Edwards AIM倒磁控管冷阴极真空计，在一个紧凑的装置中包含规头和控制器。从科学仪器到工业制程的多种应用场合，均已证明AIM真空计坚固可靠。标准AIM真空计具有线性输出，nAIM支持RS232和RS485信号输出，易于与计算机或 PLC 结合使用。
特点
测量范围5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr)
钨丝或铂丝的选项
性价比高
0至+40℃温度补偿
恒定灯丝温度
特点
测量范围宽，为 1333 至 3 x 10-4 mbar（1000 至 2.3 x 10-4 Torr）
对流技术的使用可确保测量精度一致（通常为 ±15%）并且可重复 (±5%)，达到该领域水平
低运行成本
提供可更换的管件
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VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要精确测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规监控，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被精确地测量。VSR快速的响应时间以及精确的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
