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关 键 词：爱发科干泵HR90维修
行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2020-09-13
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
? 活性气体（CVD、刻蚀等）。
? 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
? 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
? 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
? 冷冻干燥等水蒸气排气。
YM-RL系列罗茨泵机组
组成
YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。
用途
冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
优点
? 无油、干燥、清洁。
? 在低温领域的均热化。
? 大抽速，可以缩短排气时间。
? 优良的耐腐蚀性。
? 低噪音、低震动。
ULVAC低温泵维修
CRYO-U系列：CRYO-U4H、CRYO-U6H、CRYO-U8H、CRYO-U8H-U、CRYO-U8HSP、CRYO-U10H、CRYO-U12H、CRYO-U12HSP、CRYO-U16、CRYO-U16P、CRYO-U20P、CRYO-U22H、CRYO-U30H
CRYO-TORR系列：CRYO-TORR8、CRYO-TORR10
Gatch系列皮拉尼真空计
显示器单元ISG1-N
本显示器为单通道显示器，与相应的规管连接后，可作为热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、隔膜真空计使用。与测量单元连接后，不但可显示测量压力，还可进行压力输出点的设定，能简单实现各种操作，且工作情况一目了然。通过显示器单元，可实现远程操作的控制及测量。另外，本显示器单元已通过CE，ROHS认证。
用途
? 可用于需要显示压力的真空设备。
? 可用于需要多个设定点的真空设备。
? 可用于需要RS-485通信的真空设备。
特长
? 从大气压至5x10-8Pa均可显示。
? 3个设定点信号输出。
? 输入电压：DC24V。
? 0~10V线性压力输出。
? 配备有标准的RS-485通信接口。
? 直观的LED显示。
? 各种单位可显示
? 已通过CE，RoHS认证。
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