平顶山真空计 姜堰真空计 真空计保养
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行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2020-08-25
BAG402 中到超高真空真空计
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装,在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。独特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。
Barocel 7025真空计
已获 CSA C/US 批准
标准模拟输出
对数线性范围为 2.5 至 9.125 V (1 V/decade)
与我们的 ADC、AGD 和 TIC 控制器兼容
校准数据保持在管件中
管件发货时已预先校准
便于在狭窄空间中安装
在整个测量范围内可以在任何方向上保持精度
275 Mini-Convectron
Barocel 7025M
对于需要精确测量却预算有限的情况,7025M是合适的量规。基于与Barocel 7000压力表相同的原理,它具有陶瓷传感技术和出色的零稳定性。是体积更小、更经济的解决方案。
Barocel 7025M
可重复的高性能,这是在广泛的应用范围内标准的仪表。7025具有很高的精确度,有多层内部保护; 挡板、涂层和防护装置等标准配置,具有良好的零点稳定性,以及任意方向安装。
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VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被精确监控以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉