商洛探头 姜堰真空计 356 Micro-Ion Plus
价格：1000.00起
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关 键 词：商洛探头
行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2020-08-23
HPG400 大气压到高真空真空计
INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中，可测量 2×10-6 mbar 至大气气压（1.5×10-6 Torr 至大气气压）范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量，实现精确控制镀溅过程压力。
具有标准供电要求和输出电压的有源真空计范围的一部分，允许简单集成到使用有源皮拉尼真空计、热电偶真空计、倒磁控管真空计、应变真空计、宽量空计和电离真空计的系统中。所有这些均与 TIC 仪器控制器、多管路数字显示屏和控制器兼容
ATC热电偶真空计
Edwards ATC系列热电偶 (ATC-E) 真空计可直接安装在 ATC-D 或 ATC-M 热电偶管上，形成紧凑、独立的传感器。
ATC-E 电子模块既能驱动中压压力计管件，也能驱动低压压力计管件。这些真空计为更高的压力提供了经济高效的测量解决方案
Barocel 7045/7100
使用与7025相同的测量单元，Barocel 7045、7100仪表集成了加热器来保持仪表的固定温度。应用于有严重气体凝结可能导致问题的应用。可以加热到45℃(7045)或100℃(7100)的稳定温度时，仪表中的冷凝物不会危害到控制系统。
TIC仪表控制器(D39702000)提供全面的控制和显示多达6个兼容的Edwards真空计。下面是使用单个控制器运行的各种配置
可选的输出信号，易于集成，可选大气开关、显示屏和数字接口，合规和标准：CE、EN、UL、CSA、RoHS
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VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要精确测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规监控，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被精确地测量。VSR快速的响应时间以及精确的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
