厦门真空计 探头 354 Micro-ion
价格：1000.00起
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关 键 词：厦门真空计
行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2020-08-20
BAG302 中到超高真空真空计
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双丝极传感器、内置 OLED 显示器、设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口，提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计，使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程，并提供高/低拥有成本的选择。
Edwards新的Passive gauge真空规和控制器，专门补充目前Edwards Active真空计和控制器。这些真空计提供了一种广泛应用的压力测量解决方案，从超高真空系统到加工工业，或者在不可能使用Active真空计(如回旋加速器)的地方。
Edwards Passive系列真空规包括皮拉尼规，潘宁规和两个Bayard-Alpert离子计和Extractor离子测量计，可以测量大气至10-12 mbar超宽的压力范围。它们与被动式真空计计控制器(PGC)一起使用，显示压力，并为用户提供直观的界面，以及远程控制的能力。Edwards将提供2个控制器，PGC201支持测量从10-9至1000 mbar的压力范围，连接皮拉尼和潘宁真空规；以及范围更广的PGC202，测量10-12至1000mbar，连接皮拉尼和离子测量计。
275 Mini-Convectron
应用
前级真空测量（低真空测量）
真空系统回路
电离真空计连锁应用
测真空的一般应用
特点
压力范围测量宽：从大气压至10-4Torr（10-4mbar，10-2Pa）
在大气压端可进行精确和可重复的相对压力设定
结构紧凑、坚固耐用、抗射频和噪音模块符合CE认证
RS-485和DeviceNet机型包括一个可选的本地显示器
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VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤，是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时，系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中，需要准确地控制旁路中的压力，以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中，腔体内的真空也需要被精确监控以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力，而且产品几乎不需要维护。作为选项，也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉
