万宁真空计 宝应真空计 500 Cold Cathode
价格:1000.00起
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关 键 词:万宁真空计
行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2020-08-20
Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000 托 / 毫巴
带有 EtherCAT 的 INFICON 温度补偿型 Edge CDG025D2 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的极其准确的真空测量仪表。
成熟的温度补偿、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节,另外还配有 EtherCAT 现场总线接口。
Barocel 7045/7100
使用与7025相同的测量单元,Barocel 7045、7100仪表集成了加热器来保持仪表的固定温度。应用于有严重气体凝结可能导致问题的应用。可以加热到45℃(7045)或100℃(7100)的稳定温度时,仪表中的冷凝物不会危害到控制系统。
TIC仪表控制器(D39702000)提供全面的控制和显示多达6个兼容的Edwards真空计。下面是使用单个控制器运行的各种配置
自动识别 INFICON 主动式真空计
0-10V可编程图表记录器输出,具有对数/线性特性,既适用于单个真空计,也适用于真空计组(仅 VGC502 和 VGC503)
APG100系列结构紧凑,便于安装,提供线性输出,传感器管可以更换。可以连接 Edwards 的 TIC 、ADC仪器控制器以及其他真空计控制器和显示器。还获得了 CSA, C/US 认证,因为其结构中不含铅,因此安全也符合 RoHS认证。
B-A规的测量下限由这类型规管的X射线极限决定。X射线极限因不同规管设计而不同。阴极发射的电子与栅极及其支撑网碰撞产生X射线。由于BA规的几何结构原因,仅有一小部分发射的X射线会被收集极收集。当X射线碰撞收集极丝时,收集极上会有光电子发射。X射线电流限制了压力测量范围,使其等效压力下限到10-10或10-11Torr范围,取决于规管型号。早期的规管在栅极外有个柱状收集极,这种规管的X射线极限大约在10-8Torr。当气体非常稀薄且规管所获得的电流输出几乎全部都来源于X射线光电发射时,X射线极限就决定了规管小压力测量值。
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VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境,这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续监控真空状态,并使之持续维持在一个低位,以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体入口处的精确压力以及真空口处的精确压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体入口处和真空口处的精确压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接,以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来,以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行监控。另外,也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上,实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和超高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程