临夏探头价格 探头 真空计维修
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行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2020-08-13
SKY? CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计
INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能。 先进的数字电子设备提高真空计的性能和易于使用的特点，如一键调零功能和设定点调整。 抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有的零点稳定性和预计数百万次压强周期（包括大气冲击）的长使用寿命。 独特的传感器屏蔽（专利申请中）保护真空计免受过程污染。 坚固耐用的机械设计和数字电子设备改善了 EMC 兼容性、长期稳定性和温度补偿。 CDG025D 为电源接通后的快速稳定与暴露大气压后的快速恢复等特性设定了新标准。
长寿命: 冷阴极压力表不需要灯丝，这简化了测量结构，增加了可靠性和寿命，降低了拥有成本。内部保护环减少了关键部件上的污染，并将泄漏电流从测量中隔离。
快速启动: 现场发射启动器提供更快和更可预测的启动时间。
磁铁: 去除简化了仪表安装和烘烤。
挡板: 防止溅射材料进入测量室。
易于维护: 易于拆卸的电子和磁铁, 使烘烤和安装更容易
皮拉尼真空计
INFICON 皮拉尼真空计, PSG500, PSG502-S, PSG510-S 和 PSG512-S,采用先进的数字皮拉尼技术. 坚固的不锈钢传感器室和小型的结构使它们适用于各类真空系统.
特点
真空压力测量至10E-9Torr
双灯丝增加设备的正常运行时间
超洁净结构在抽气过程中实现快速响应
坚固耐用的金属结构，抗射频和噪音符合CE标准
可选本地显示器有助于设置和诊断
数字接口可用于计算机控制系统
应用
高真空压力测量
蒸发与溅射镀膜系统
全真空范围内的一般真空测量和控制
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VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要精确测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规监控，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被精确地测量。VSR快速的响应时间以及精确的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
