厦门探头价格 姜堰真空计 390 Micro-Ion ATM
价格：1000.00起
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行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2020-08-12
VSA200 绝压开关
INFICON 真空开关设计用于准确而可靠地测量压力。这些坚固的电子开关可用于所有真空，包括压力联锁。开关有两种版本：绝压型（基准为真空）或差压型（基准为环境）。
ASG隔膜真空计
Edwards ASG2是坚固、防腐蚀的隔膜真空计，可进行与气体无关的准确测量，范围从 2000 mbar 到 1 mbar 以及 1000 mbar 到 1 mbar。它可用作独立的传感器，便于 OEM 和系统承建商开发灵活的低成本解决方案，满足其真空设备的需求。另外，它还可以连接到 TIC 仪器控制器，与其他很多类型的传感器结合使用，提供全面的真空仪器解决方案。
B-A规的测量下限由这类型规管的X射线极限决定。X射线极限因不同规管设计而不同。阴极发射的电子与栅极及其支撑网碰撞产生X射线。由于BA规的几何结构原因，仅有一小部分发射的X射线会被收集极收集。当X射线碰撞收集极丝时，收集极上会有光电子发射。X射线电流限制了压力测量范围，使其等效压力下限到10-10或10-11Torr范围，取决于规管型号。早期的规管在栅极外有个柱状收集极，这种规管的X射线极限大约在10-8Torr。当气体非常稀薄且规管所获得的电流输出几乎全部都来源于X射线光电发射时，X射线极限就决定了规管小压力测量值。
Edwards新的Passive gauge真空规和控制器，专门补充目前Edwards Active真空计和控制器。这些真空计提供了一种广泛应用的压力测量解决方案，从超高真空系统到加工工业，或者在不可能使用Active真空计(如回旋加速器)的地方。
Edwards Passive系列真空规包括皮拉尼规，潘宁规和两个Bayard-Alpert离子计和Extractor离子测量计，可以测量大气至10-12 mbar超宽的压力范围。它们与被动式真空计计控制器(PGC)一起使用，显示压力，并为用户提供直观的界面，以及远程控制的能力。Edwards将提供2个控制器，PGC201支持测量从10-9至1000 mbar的压力范围，连接皮拉尼和潘宁真空规；以及范围更广的PGC202，测量10-12至1000mbar，连接皮拉尼和离子测量计。
GP 390真空计的复合规管技术
以往，在宽量程范围内要进行精确测量需要多个传感器，多个真空系统接口，及相关电缆及电子器件。GP的Micro-lon ATM模块合并多传感器于一个微机控制设计中，减少了整体购置成本，同时提高真空测量性能。
GP将20多年成功的规管设计以及现场装机经验运用到了生产新的真空测量标准产品Micro-lon ATM模块中。宽量程、高性能，及紧凑型设计的Micro-lon ATM是您进行高真空系统压力测量的明智之选。
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VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要精确测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规监控，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被精确地测量。VSR快速的响应时间以及精确的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
