临汾真空计 探头 347 Stabil-Ion
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关 键 词:临汾真空计
行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2020-08-12
BAG05x UHV Bayard Alpert 热电离被动真空计
INFICON Bayard-Alpert 被动真空计头 BAG050、BAG051、BAG052 和 BAG053 设计用于 INFICON 真空计控制器 VGC083A 和 VGC083B。氧化钇涂层铱丝适用于空气和惰性气体中的一般真空应用,例如在 N2 和氩气中。如果气体与氧化钇涂层铱丝不兼容,则为其选择钨丝。BAG05x 真空计还可使用其他制造商生产的兼容真空计控制器操作。INFICON 被动 Bayard-Alpert 电离真空计 (BAG05x) 可采用三种不同的配置:
GP500冷阴极真空计采用了和现代设计技术,在宽压力范围内提供高可靠性和长寿命的真空测量。模块化设计将仪表和控制电路集成在一个紧凑的模块中。
ATC热电偶真空计
Edwards ATC系列热电偶 (ATC-E) 真空计可直接安装在 ATC-D 或 ATC-M 热电偶管上,形成紧凑、独立的传感器。
ATC-E 电子模块既能驱动中压压力计管件,也能驱动低压压力计管件。这些真空计为更高的压力提供了经济高效的测量解决方案
压力测量范围宽,从大气压至10E-4Torr
单独校准规管保证的测量性能
结构紧凑、坚固耐用,抗辐射和噪音符合CE认证
数字接口可用于与计算机控制系统通讯
紧凑尺寸、高性能和坚固耐用、全金属外壳使得Micro-lon模块成为众多高真空应用的明智选择。
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VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被精确监控以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉