镀膜机真空泵维修 真空镀膜机 欢迎来电了解
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行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2020-07-30
光学镀膜机维护与保养
光学镀膜机主要由真空镀膜机室、真空抽气机组及电柜(控制电柜、电子电柜)组成,其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。
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Ion Beam Drive : ID-3500,ID-3501,IT-2500,IT-3500 DC( 直流系列 ) :
MDX Series: MDX 5,MDX 10,MDX 20,MDX 30,MDX-052,MDX 1K,MDX 1.5K,MDX 500,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW)
Advanced Energy MDX MAGNETRON DRIVE SLAVE
ADVANCED ENERGY PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
ADVANCED ENERGY PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW
DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW
ADVANCED ENERGY MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kWHALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18
ADVANCED ENERGY MDX-10K-MASTER 2225-037-A
ADVANCED ENERGY MDX13
ADVANCED ENERGY MDX-MASTER 2225-000
ADVANCED ENERGY MDX SLAVE 2221-005-N
ADVANCED ENERGY 3152225-048A
ADVANCED ENERGY 2221-005-P
ADVANCED ENERGY 2225-009-W
ADVANCED ENERGY 2221-012-A
ADVANCED ENERGY AE05722B 2300 RFG 5500 NOVELLUS CONTROL
普发(PFEIFFER)分子泵系列:TMH063、TMH064、TMH071,TMH260,TMH261,TMH300,TMH301,TPH170
莱宝分子泵系列:TW70,TW250S,Turbovac 360,Turbovac 361.
ALCATEL ADIXEN分子泵系列ATP150 、 ATP100 、 ATP80 、 ATP400 、 ATP900
Ion Beam Drive : ID-3500,ID-3501,IT-2500,IT-3500 DC(直流系列) :
MDX Series: MDX500,MDX 5KW,MDX 10KW, MDX13KW,MDX II 15KW, MDX II 30KW ,MDX 1K,MDX 1.5K ,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw,MDX II 18P
PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW
DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW
MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kW HALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18
SPARC Series: Sparc-le 20,Sparc-le V,Sparc VSE'Wave DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR
导致的结果就是,引起噪声和流量脉动,甚至对速度的稳定也产生了较大的负面影响。还有,目前多数的变频器采用的是电压型逆变器供电,在低频的情况下,会引起强烈的振动和噪声,这些都是比例调速所凸显的问题,对日常的工作来说,具有较大的负面影响。但变频调速在这个方面做了很大程度上的努力,就低速稳定性问题本身而言,并没有办法完全避免,但是如果在相关的技术领域进行革新,日常工作当中严加注意,相信可以处理好或者大限度的避免这类问题。在多数情况下,变频调速系统在某一特定范围内才会出现系统运行不稳定的区域。主要是与电机参数和运行条件有关,控制好上述几个因素,就可以处理好低速稳定性问题。相对比例调速来说,变频调速更容易控制。
在变频器运行时要注意其冷却系统是否正常,如:风道排风是否流畅,风机是否有异常声音。一般防护等级比较高的变频器如:IP20以上的变频器可直接敞开安装,IP20以下的变频器一般应是柜式安装,所以变频柜散热效果如何将直接影响变频器的正常运行,变频器的排风系统如风扇旋转是否流畅,进风口是否有灰尘及阻塞物都是我们日常检查不可忽略的地方。电动机电抗器、变压器等是否过热,有异味;变频器及马达是否有异常响声;变频器面板电流显示是否偏大或电流变化幅度太大,输出UVW三相电压与电流是否平衡等。定期除尘检查风扇进风口是否堵死,每月清扫空气过滤器冷却风道及内部灰尘。定期检查,应一年进行一次:检查螺丝钉、螺栓以及即插件等是否松动。
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