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关 键 词：无锡AZO靶材价格
行 业：冶金 铁合金 钛铁
发布时间：2020-06-27
磁控溅射技术是20世纪70年始应用于实践的，其制备薄膜的原理：在真空室充入压强0.1-l0 Pa的惰性气体(Ar)的同时，在阴极靶材下面放置了100～1000Gauss强力磁铁。
AZO靶材：
成份组成按照客户要求，相对密度＋99.3%（＋5.55g/cm3），体电阻率≤1.0×10-3Ω。cm，单片尺寸300mm*250mm*20mm，提供帮定支持。
具有沉积速率高、基片沉积温度低、成膜粘附性好、易控制、成本低，能实现大面积制膜的优点，成为当今工业化生产、研究多、成熟、应用广的一项成膜技术，也是AZO薄膜制备中常用的方法。
AZO靶材的指标
Density: ≥97%
Purity: ≥99.95%
Size:280×150 ×Th.mm
Color:Dark-Green
靶材体积电阻率：5×10- 4Ω ·cm
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