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关 键 词:南昌AZO靶报价
行 业:冶金 铁合金 氮化锰铁
发布时间:2020-06-19
具有沉积速率高、基片沉积温度低、成膜粘附性好、易控制、成本低,能实现大面积制膜的优点,成为当今工业化生产、研究多、成熟、应用广的一项成膜技术,也是AZO薄膜制备中常用的方法。
磁控溅射就是以磁场束缚和延长电子的运动路径,改变电子的运动方向,提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量。
氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。
主要应用:薄膜太阳能电池、透明导电玻璃、导电柔性膜、等离子显示器等。
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