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关 键 词:天津AZO靶材厂家
行 业:冶金 铁合金 氮化锰铁
发布时间:2020-06-19
AZO是铝掺杂的氧化锌(ZnO)透明导电玻璃的简称。
是一种导电镀膜材料,AZO 薄膜由于具备材料无毒性、制备温度低、工艺相对简单、易于实现掺杂等特点。
AZO靶材:
成份组成按照客户要求,相对密度+99.3%(+5.55g/cm3),体电阻率≤1.0×10-3Ω。cm,单片尺寸300mm*250mm*20mm,提供帮定支持。
氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。
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