但如果要获得极高纯度的高纯水，还是需通过去除电解质的混床、EDI方法。
在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。
去离子水就是去掉了水中的除氢离子、氢氧离子外的其他由电解质溶于水中电离所产生的全部离子。
去离子水，由于在反渗透预处理中绝大多数都先用活性炭去除了部分非电解质，并且电导率非常容易测量，所以纯水纯度往往也用电导率衡量。
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