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关 键 词：AZO靶材价格
行 业：冶金 铁合金 钒铁
发布时间：2020-06-03
在高压作用下，电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。
氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。
AZO靶材的指标
Density: ≥97%
Purity: ≥99.95%
Size:280×150 ×Th.mm
Color:Dark-Green
靶材体积电阻率：5×10- 4Ω ·cm
是一种导电镀膜材料，AZO 薄膜由于具备材料无毒性、制备温度低、工艺相对简单、易于实现掺杂等特点。
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