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关 键 词：宿迁钛靶材
行 业：冶金 铁合金 锰铁
发布时间：2020-06-01
为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。
众所周知，靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化。
通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。
不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
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