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关 键 词:洛阳旋转浇铸靶厂家
行 业:冶金 铁合金 硅钙
发布时间:2020-05-31
蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
磁控溅射旋转靶,属于磁控溅射镀膜技术领域,解决磁控溅射镀制薄膜电池膜层的厚度一致性等技术问题,磁控溅射旋转靶包括靶筒、靶轴、靶材和磁体,靶材装在靶筒的外壁上,磁于靶筒内部,靶筒的两端设有连接构件,连接构件由端头、靶轴支承座和连接夹套组成,端头由连接夹套安装在靶筒的两端,靶轴支承座安装在端头内,靶轴的一端装有磁体移动机构,另一端装有靶材旋转机构。
产品用途:真空镀膜,实验或研究级别用银靶材,电子,光电,军用,装饰镀,功能薄膜等
积极效果是通过调节靶电源以及旋转靶上的磁铁和靶材之间距离,调整靶材表面的磁场,保证所镀膜层厚度的均匀性和致密度的一致性。
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