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关 键 词：深圳石墨靶
行 业：冶金 铁合金 铝锰
发布时间：2020-05-26
原料成分分析：
通过 ICP设备检测分析，杂质元素含量，确保纯度达标；通过XRD检测粉末成分，是否成相等 情况。
石墨靶材自身具有耐高温、自润滑、耐腐蚀、导电性良好等特点，用石墨做靶材，在选材上市重要的环节，根据行业的不同选用不同材质的石墨材料，然后就要考虑石墨靶材加工中的技术问题，靶材材质的要求很严格，对加工技术的要求同样是一丝不苟的。石墨靶材的精度和误差都是重要的因素。
为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧，有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物，这也有助于用户可以连续以功率密度进行溅射。
应用领域： 科学实验或研究方面应用，微纳加工，器件制作等相关定制产品广泛用于半导体芯片、太阳能光伏 、平面 显示、特种涂层等。
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