表面形貌评定的核心在于对特征信号无失真的提取和对使用性能的量化评定，国内外学者在这一方面做了 大量工作，提出了许多分离与重构方法。随着当今微机处理技术、集成电路技术、机电一体化技术等的发展。出现了用分形法、Motif法、功能参数集法、时间序列技术分析法、小二乘多项式拟合法、滤波法等各种评定理论与方法，取得了显着进展。
干涉显微测量方法:干涉显微测量方法利用光波干涉原理测量表面轮廓。与探针式测量方法不同的是,它不是单个聚焦光斑式的扫描测量，而是多采样点同时测量。干涉显微测量方法能同时测量--个面上的表面形貌，横向分辨率取决于显微镜数值孔径，一般在pum或亚pum量级;横向测量范围取决于显微镜视场，大小在mm量级:纵向分辨率取决于干涉测量方法，一般可达nm或0.1nm量级:纵向测量范围在波长量级。因此干涉显微测量方法比较适宜于测量结构单元尺寸在pum量级，表面尺寸在mm或亚m量级的微结构。
表面所具有的微观几何形状统称为表面形貌(surface topography)， 其中表面被定义为- -种材料与其它材料之间的分界面" (在工程表面的情况下，一种材料是空气，另-种为固体材料，例如金属、塑料等)。固体表面是指固体上代表实体和周围环境边界的部分。工程表面形貌代表着工件表面的主要外部特征，是由加工过程中的各种工序产生的。
表面是由粗糙度，波纹度和表面形状误差3个部分构成的。随着现代测量精度的不断提高，亚粗糙度(sub roughness)与原子粗糙度的概念已被提出来，他们的出现是对原子级微观形貌进行评价的需要。简单的通过微观不平度的数值来区分三者是不可取的，因为在概念上从粗糙度变为波纹度必须根据工件的尺寸大小来确定。上述三种特征从不单独出现，大多数表面是由粗糙度，波纹度和形状误差组合形成的。由于三者的作用不同，因此，如何正确的将三者分离就成为一个十分重要的问题。
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