自动氩气回收带高纯化系统定制 个性定制 价格实惠
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关 键 词:自动氩气回收带高纯化系统定制
行 业:环保 原水处理设备 海水淡化设备
发布时间:2020-01-29
氩气净化回收装置是将本来直接排放于大气的含各种杂质的氩气(回收压力略高于大气压)通过初级过滤粉尘及反吹回收装置、精密二级过滤,由压缩机增压,冷冻干燥机脱水,除氧剂除氧、干燥设备深层吸附去除氩气中的微量氧、水份及气体微量杂质,全自动氩气回收净化系统高纯氩气回收提纯设备得到纯度极高的氩气,后经贵金属精密过滤器送至工作点使用。
氩气回收工作原理:氩气是大规模工业生产制取单晶硅的主要保护气,是安全生产和控制经营成本必须重视的一个重要方面。将排出含有粉尘杂质的氩气除去固体杂质,经缓冲罐进入氩气压缩机升压,,经氩气纯化设备。后将净化后的氩气送入使用地点.设备的回收率为90%,氩气纯度可以达到99.999%以上。
利用氩气的多晶硅铸定炉联机系统及其生产工艺,解决了现有的多晶硅铸锭炉在生产过程中存在生产成本高,污染环境严重和电力消耗大的问题。包括多台多晶硅铸定炉(1)和气站氩气管路(18),多晶硅铸定炉(1)均与共用的联机真空泵(8)连通,联机真空泵(8)通过氩气回收缓冲罐(10)、缓冲阀(11)、氩气净化单元(12)、增压泵(13)与净化氩气储气罐(14)连通,净化氩气储气罐(14)与回用氩气总管路(16)连通,回用氩气支管路(19)与多晶硅铸定炉(1)上设置的质量流量控制器(4)的输入口连通。
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