自动氩气回收带高纯化系统规格 氩气回收 全系列全规格
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关 键 词:自动氩气回收带高纯化系统规格
行 业:环保 原水处理设备 海水淡化设备
发布时间:2020-01-22
单晶硅的氩气回收带纯化系统,单晶硅炉排放的粗氩气汇集后进行压缩除油处理,采用催化氧化法除去一氧化碳与烷烃,采用加氢除氧法除去氧,采用吸附法除去二氧化碳及水分,采用高低压双塔低温精馏法除去氮与氢,终得到纯净压缩氩气可直接送回单晶硅炉重新利用。
单晶硅氩气回用的具体生产工艺。本发明减少了电力消耗,降低工艺气体氩气的消耗,直接降低生产成本。
氩气回收带提纯后的氩气纯度纯度达到99.999%以上,保证氩气的质量稳定可靠。
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