自动氩气回收带高纯化系统定制 氩气回收 制造工艺优
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关 键 词：自动氩气回收带高纯化系统定制
行 业：环保 原水处理设备 海水淡化设备
发布时间：2020-01-21
苏州华德公司是专业从事氩气回收系统研发、生产、销售与服务的高新技术企业。公司拥有“氦氩气回收纯化系统”等多项。公司长期致力于高压气源系统集成、惰性稀有气体回收、测试控制系统集成、气体工程检测的数据采集、分析处理、综合应用的技术研究及服务。
单晶硅氩气回用的具体生产工艺。本发明减少了电力消耗，降低工艺气体氩气的消耗，直接降低生产成本。
单晶硅的氩气回收带纯化系统，单晶硅炉排放的粗氩气汇集后进行压缩除油处理，采用催化氧化法除去一氧化碳与烷烃，采用加氢除氧法除去氧，采用吸附法除去二氧化碳及水分，采用高低压双塔低温精馏法除去氮与氢，终得到纯净压缩氩气可直接送回单晶硅炉重新利用。
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