石家庄TiN氮化钛靶材定制 陶瓷靶材 可加工定制
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关 键 词:石家庄TiN氮化钛靶材定制
行 业:冶金 有色金属 铜
发布时间:2020-01-02
此外,氮化钛膜还可用作耐腐蚀镀层、微电子器件的扩散障碍层、光学反射层等
氮化钛靶材---氮化钛膜是指由钛氮化合物组成的薄膜。氮化钛属于间隙化合物,具有美丽的金光泽,化学稳定性好,熔点高达3000℃,维氏显微硬度为20GPa左右。
60年代末,人们以TiCl4为原料,用化学气相沉积在硬质合金基体上制备出氮化钛膜,其反应温度在900-1100摄氏度
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