石家庄磁控溅射氮化钽靶材报价 TaN靶材 提供免费样品
价格:500.00起
产品规格:
产品数量:
包装说明:
关 键 词:石家庄磁控溅射氮化钽靶材报价
行 业:冶金 有色金属 锌
发布时间:2019-12-26
氮化钽为黑色六方结晶。相对密度为13.4,熔点为3090℃,显微硬度为1100kg/mm2,热导率为9.54W/(m·K),电阻率为128μΩ·cm
氮化钽靶材合成
1、将金属钽粉用氮气或氨气在1100℃左右直接氮化制得;
2、以金属钽和氮气为原料制备氮化钽,反应式如下:2Ta+N2=2TaN。
利用磁控反应溅射技术制备氮化钽薄膜,对磁控反应溅射制备氮化钽薄膜的工艺参数(包括氮分压比、加热温度、溅射压力、溅射电流)用正交设计进行优化
-/gbaffji/-