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缺陷定位微光显微镜销售_直流探针销售_深圳市易捷测试技术有限公司
EMMI 微光显微镜是一种效率极高的失效分析工具,提供高灵敏度非破坏性的故障定位方式,可侦测和定位非常微弱的发光(可见光及近红外光),由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。
EMMI 侦测对应故障种类涵盖ESD,Latch up,I/O Leakage,junction defect,hot electrons,oxide current leakage等所造成的异常。
微光显微镜系EMMI 配置
探测器:
**工作温度最低可达-65摄氏度
**C-CCD:1024 X 1024/512X512像素
** InGaAs: 640 x 480/ 320 x 256像素
6/8/12英寸针台:
**平台高度调整范围:20mm
**快速卡盘移动
**X/Y方向精细调节
NIR光学系统:
**NIR显微镜,2.5x、5x、20x、50x、100x镜头可选
**高精度电动X/Y/Z显微镜支架
**X/Y方向移动范围:>50mm,分辨率<0.2umz
**方向移动范围:>80mm,分辨率<0.2um
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