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EMMI微光显微镜系统 矢网校准件销售 深圳市易捷测试技术有限公司
EMMI 微光显微镜是一种效率极高的失效分析工具，提供高灵敏度非破坏性的故障定位方式，可侦测和定位非常微弱的发光（可见光及近红外光），由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。
EMMI 侦测对应故障种类涵盖ESD，Latch up，I/O Leakage，junction defect，hot electrons，oxide current leakage等所造成的异常。
EMMI 微光显微镜应用：
半导体FA/QRA/RA EMMI分析；MEMS键合分析；高分辨率层叠图形；成品率保障检测；IC设计调试。
同Cascade探针台完美搭配可实现高低温环境测试。
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