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产品规格:lcvd-G4.5
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关 键 词:LCVD激光修复仪
行 业:仪器仪表 实验室仪器 特殊实验仪器装置
发布时间:2023-03-30
SEMISHARE LCVD系列激光修复系统 1. CVD工作原理:用金属材料连接在各种不同的制程材质上。修补断线,通孔以减少线缺陷,进而提高良率。 CUT工作原理:利用激光精密切割,熔接功能,修复短路,断线,以减少线缺陷,进而提高良率。 2. 连线效果 成膜规格: 材质:Cr,Mo,W,Al 最小线宽:2 micron