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发布时间：2017-06-24
因此，硅片表面摩擦长度的分布状态和压强的分布状态决定了工作表面材料去除的状态，而研究表明硅片抛光接触区域的压强一般沿硅片半径方向增加，并且由于加工中有背垫时接触压强的分布仍存在不均匀性，在工件外径邻域内接触压强最大，这导致了被加工工件产生平面度误差与塌边。增加背垫的弹性模量和泊松比，可以改善接触表面城市强分布均匀性，使工件有效区域的平面度形貌变得更好。。通过使用聚氨酯泡沫垫并控制其上的加载压力能够使晶片稳定达到较高的平面度。这进一步说明抛光对双面研磨/抛光加工晶片平面度的影响是主导性。双面研磨机（lapping machine）是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。研磨机采用无级调速系统控制，可轻易调整出适合研磨各种部件的研磨速度。其主要类型有圆盘式研磨机、转轴式研磨机和各种专用研磨机。研磨机控制系统以PLC为控制核心，文本显示器为人机对话界面的控制方式。人机对话界面可以就设备维护、运行、故障等信息与人对话；操作界面直观方便、程序控制、操作简单。全方位安全考虑，非正常状态的误操作无效。实时监控，故障、错误报警，维护方便。河南双面研磨机哪家好-昭远矿山机械-河北双面研磨机由锦州昭远矿山机械有限公司()提供。
