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关 键 词：微波等离子体,等离子体
行 业：机械 清洗/清理设备 蒸汽清洗机
发布时间：2017-02-28
应用： 高聚物材料表面清洗与改性 ? ? 产品特性： 本品采用远程微波等离子体（Remote Microwave Plasma），等离子体产生效率高，样品处理均匀； 真空系统采用2XZ-2型旋片真空泵，极限真空6×10－2帕； 2～4路气体输入，1路或2路进入微波等离子体源处形成远程等离子体进入反应室，另外的气路由反应室内顶部（样品台上方）呈环形均流输入；可用氮气、氧气、氦气和大气等常用气体；流量控制可用玻璃转子流量计或者MFC；
