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发布时间：2017-03-09
真空镀膜机的操作方法介绍
真空镀膜机首要指一类需求在较高真空度下进行的镀膜仪器，首要思路是分成蒸腾和溅射两种。真空镀膜机的应用是很复杂的，用户需求掌握必定的操作常识。下面小编就来详细介绍一下真空镀膜机的操作方法，期望能够协助到我们。
真空镀膜机电控柜操作
1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开保持泵、真空计电源，真空计档方位V1方位，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、发动，真空计开关换到V2方位，抽到小于2停止，约需20分钟。
5. 调查涡轮分子泵读数抵达250今后，关予抽，开前机和
高阀持续抽真空，抽真空抵达必定程度后才能开右边的高真空表头，调查真空度。真空抵达2×10-3今后才能开电子枪电源。
离子镀/真空镀膜
