南通真空镀膜机维修-宝来利真空机电-丹阳真空镀膜机厂家
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行 业：超硬材料 超硬制品 特殊/专业电镀设备
发布时间：2017-02-23
真空镀膜机的操作规程
1．在真空镀膜机运转正常情况下，开动真空镀膜机时，必须先开水管，工作中应随时注意水压。
2．在离子轰击和蒸发时，应特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。
3．在用电子枪镀膜时，应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃最好用铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。
4．镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。
5．易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。
6．酸洗夹具应在通风装置内进行，并要戴橡皮手套。
7．把零件放入酸洗或碱洗槽中时，应轻拿轻放，不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。
8．工作完毕应断电、断水。
离子镀/真空镀膜
蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面，称为离子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。一种离子镀系统如图4[离子镀系统示意图],将基片台作为阴极，外壳作阳极，充入惰性气体（如氩）以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加速打到基片表面。未电离的中性原子（约占蒸发料的95%）也沉积在基片或真空室壁表面。电场对离化的蒸气分子的加速作用（离子能量约几百～几千电子伏）和氩离子对基片的溅射清洗作用，使膜层附着强度大大提高。离子镀工艺综合了蒸发（高沉积速率）与溅射（良好的膜层附着力）工艺的特点，并有很好的绕射性，可为形状复杂的工件镀膜。
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