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QT-100H-SYZD应用于将扩散后石英舟内的背靠背硅片导出并两两分开,然后分别入朔料硅片承载盒中,同时将未扩散的硅片从朔料
硅片承载盒中取出,然后背靠背叠加放入石英舟内,每一槽放两片,待扩散面朝外。
设备特点:
1机器重要环节采用激光传感器精确定为,一旦运转偏离位置,机器自动补偿矫正。既提高了稳定性,又提升了速度
2真空吸盘采用精密耐高温陶瓷结构,不变形、无污染、娇片叉子采用高精度复合材料。
3 等一些更详细介绍见说明书了解。