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关 键 词：TEM 样品制备,,,
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发布时间：2013-08-06
聚焦离子束（FIB）加工 ? 同步实现FIB加工和SEM（扫描电镜）测量，具备纳米加工-纳米原型设计-2D/3D纳米表征-纳米分析（包括：3维重构、STEM分析、能谱分析等）能力,实现微/纳米元件（如三维微/纳结构、微刀具、碳纳米管器件等）的制备和性能检测。
