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特点l最小的死区l可以选择面板安装或底部安装l标准的手动开/关指示器技术指标尺寸1/4quot3/8quot,1/2quot3/4quotCV205400.361.12.6孔径4.5mm8mm12mm最大工作压力(G.)1MPa最大工作温度PCTFE:-10℃-80℃/PI:-10℃-150℃内部泄漏标准(He)测试压力≤1-10-2Torr测试时间≥30秒≤4-10-10Pa·m3/s外部泄漏标准(He)测试压力≤1-10-2Torr测试时间≥1分钟≤4-10-10Pa·m3/s微粒检测(只用于EP)压力:60-80psi气体N2样品流量:1CFM0.1μm以上计量不到选型S4BVVMP S