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罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种旋转式变容真空
泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工
作范围的不同,又分为直排大气的低真空罗茨泵;中真
空罗茨泵(又称机械增压泵)和高真空多级罗茨泵。一
般来说,罗茨泵具有以下特点:
?
在较宽的压强范围内有较大的抽速;
?
起动快,能立即工作;
?
对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感;
?
转子不必润滑,泵腔内无油;
?
振动小,转子动平衡条件较好,没有排气阀;
?
驱动功率小,机械摩擦损失小;
?
结构紧凑,占地面积小;
?
运转维护费用低。
因此,罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电
子工业部门得到广泛的应用。
罗茨泵的工作原理:
罗茨泵的结构如图所示。在泵腔内,有二个
“8”
字形
的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为
1
的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之
间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实
现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,
通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵
的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决
于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将
罗茨泵串联使用。
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的
不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的
空间
v
0
内,
再经排气口排出。
由于吸气后
v
0
空间是全封
闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。
但当转
子顶部转过排气口边缘,
v
0
空间与排气侧相通时,由于
排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间
v
0
中
去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排
新市场营销法则 助推企业成长电子商务营销 食品餐饮营销 建筑房产营销 消费品营销 出泵外。
如图为罗茨泵转子由
0°
转到
180°
的抽气过程。
在
0°
位置时(图中
a
),下转子从泵入口封入
v
0
体积的气体。
当转到
45°
位置时(图中
b
),该腔与排气口相通。由于
排气侧压强较高,
引起一部分气体返冲过来。
当转到
90°
位置时(图中
c
),下转子封入的气体,连同返冲的气
体一起排向泵外。这时,上转子也从泵入口封入
v
0
体积
的气体。当转子继续转到
135°
时(图中
d
),上转子封
入的气体与排气口相通,重复上述过程。
180°
(图
e
)
位置和
0°
位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个
v
0
体积的气体。
真空泵的选择
选用真空泵时,需要注意下列事项:
1
、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:
某真空干燥工艺要求
10mmHg
的工作真空度,选用
的真空泵的极限真空度至少要
2mmHg
,最好能达到
1mmHg
。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个
数量级。
2
、
正确地选择真空泵的工作点。
每种泵都有一定的工作压强范围,
如:
2BV
系列水环真空泵工作压强范围
760mmHg~25mmHg
(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为
760~60mmHg
。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在
25~30mmHg
下长期工作。
3
、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4
、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补
充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)
对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;
有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
5
、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温
泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
6
、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被
抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除
尘器等。
7
、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
8
、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
9
、真空泵的价格、运转及维修费用。