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BAILEY IMDSI02 我们售出的产品都经过专业的测试和认证,且质保一年,15天内包退换,满意后付款。 备注:如果对产品的价格,厂家,型号,图片有什么疑问,请直接联系我们。 我们热忱地希望尽我们最大的努力,力争最优惠的产品价格。 最短的供货周期以及服务质量,能够为您解决进口备件方面问题。 买备件,找厦门卡库廖工,有特价! 致富热线:电话:0592-5709828 传真:0592-5709828在线Q 我们这里有您急需的停产备件,优势现货,询不到的,买不到的,请联系我们! 公司主营: Allen-Bradley(美国AB)系列产品》 Schneider(施耐德电气)系列产品》 General electric(通用电气)系列产品》 Westinghouse(美国西屋)系列产品》 SIEMENS(西门子系列产品)》 系统软件设计 系统软件设计包括触摸屏操作界面设计、模糊自整定PID控制算法设计及Modbus通信程序设计。 3.1 触摸屏操作界面[3] 触摸屏为人机对话界面,具有画面丰富,信息量大、操作灵活直观的特点。针对半导体扩散工艺及系统功能需求,设计用户界面主要界面包括:自动运行界面,手动运行界面,工艺参数设置界面,工艺曲线绘制界面,PID参数自整定界面等。 (1)自动运行界面。实现扩散炉各测点的温度检测值、设定值,各种气体流量值,各个阀的状态,推拉舟运行状态和速度的实时显示,完成整个工艺过程的监督功能。 (2)手动运行界面。手动运行适合于系统调试、状态测试等应用中。除了显示炉体的三点温度以外,其他部分均可通过按键实现手动操作。主要内容有:推拉舟“前进”“后退”运行控制;气路四个阀门的控制;氢气流量、氮气流量的控制。在“手动”画面中,设有推拉舟前进、后退速度设定,各种气体流量设定按键。用户可根据要求设定。 (3)工艺参数设置界面。系统可存储20套工艺配方,每个工艺配方由20个工艺段组成,每个工艺段可分为升(降)温和恒温两步。工艺参数界面设置可实现对每步的温度数值、持续时间、气路流量、推拉舟位置等参数进行设置。 (4)工艺曲线绘制界面。将控制过程的参数以数字方式显示,将炉体的三点温度以及设定温度值以曲线形式显示在画面中。 (5)PID参数自整定[4]界面。根据工艺的温度要求,选择整定温度,系统开始对炉体加温并开始自整定过程,实现PID参数的整定。 3.2 模糊自整定PID控制算法设计[5][6] PLC作为系统的核心,完成各种信息的检测、处理,控制算法的实现,控制量的输出等。系统实现控制包括:对扩散炉九点温度的工艺控制;对气体流量工艺过程的控制;对扩散炉生产工艺的自动化过程控制。其中对温度的控制是至关重要的,控制效果的好坏直接决定着半导体扩散的质量。本系统采用模糊自整定PID控制算法实现对温度的控制。 REXROTH INDRAMAT MKD071B-061-GG0?-KN 最给力的服务, REXROTH INDRAMAT MKD090B-035-GG0?-KN 最给力的服务, REXROTH INDRAMAT MHD093B-058-NG1?-AN最给力的服务, REXROTH INDRAMAT MKD090B-035-GG0?-KN 最给力的服务, Rexroth/Indrama?t CCD01.1-KE0.0-0?1-FW 最给力的服务, Rexroth Indramat HDS03.2-W100N 最给力的服务, Rexroth Indramat System200 BTV20 最给力的服务, Rexroth 2AD134D-B350A1-?DS06-A2N1 最给力的价格,疯狂抢购啊。 Rexroth INDRAMAT 2AD132B-B05OLE-?BS08-C2N1 最给力的价格,疯狂抢购啊。 Rexroth INDRAMAT 2AD132C-B05OA7-?BS27-A2N1最给力的价格,疯狂抢购啊。 Bosch RHO3.1 最给力的价格,疯狂抢购啊。 Rexroth INDRAMAT MDD112C-N-015-N?2M-130PA1 最给力的价格,疯狂抢购啊。 Rexroth INDRAMAT MDD093C-N-020-N?2L-110GA0 最给力的价格,疯狂抢购啊。 Rexroth Indramat VDP40 1BIN-G4-PS-NN 最给力的价格,疯狂抢购啊。 Rexroth Indramat HDS03.2-W100N-H?A01-01-FW最给力的价格,疯狂抢购啊。 Rexroth INDRAMAT 2AD132C-B05OAE-?BS27-A2N1 最给力的价格,疯狂抢购啊。 Bosch RHO3.0 1070075643最给力的价格,疯狂抢购啊。 Indramat Rexroth MTX VPP40 最给力的价格,疯狂抢购啊。 REXROTH 2AD160B-B050B2-?BS03-D2N2最给力的价格,疯狂抢购啊。 REXROTH MDD112D-N-030-N?2M-130GA0最给力的价格,疯狂抢购啊。 Rexroth INDRAMAT KDV 1.3-100-220/300?-220最给力的价格,疯狂抢购啊。 REXROTH MAC112D-0-FD-2-?C/130-A-0 最给力的价格,疯狂抢购啊。 REXROTH MAC112D-0-HD-2-?C/130-A-0 最给力的价格,疯狂抢购啊。 Rexroth Indramat KDR 1.1-100-220-300?-W1最给力的价格,疯狂抢购啊。 REXROTH MAC112C-0-KD-2-?C/180-A-2/S029最给力的价格,疯狂抢购啊。 REXROTH MDD115C-N-015-N?2L-130GA0最给力的价格,疯狂抢购啊。 REXROTH MDD112C-N-015-N?2L-130GA3最给力的价格,疯狂抢购啊。 REXROTH MHD112C-024-NG0?-AN 最给力的价格,疯狂抢购啊。 Bosch CPU 1070075642 -202 CC10.3最给力的价格,疯狂抢购啊。