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缺陷定位微光显微镜*_微光显微镜系统_PEM微光显微镜系统
EMMI 微光显微镜是一种效率极高的失效分析工具,提供高灵敏度非破坏性的故障定位方式,可侦测和定位非常微弱的发光(可见光及近红外光),由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。
EMMI 侦测对应故障种类涵盖ESD,Latch up,I/O Leakage,junction defect,hot electrons,oxide current leakage等所造成的异常。
.易捷测试技术___缺陷定位微光显微镜*_微光显微镜系统_PEM微光显微镜系统