供应LPCVD，扩散炉，氧化炉，退火炉

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行 业：电子 电子产品制造设备 半导体设备 

发布时间：2019-05-28

英国Thermco Systems公司成立于1962年，是世界上着名的卧式扩散炉、氧化炉及LPCVD炉的制造商，在全球各处的半导体制造厂里都有大量的安装应用，迄今为止安装记录已超过20000管。根据基片尺寸以及产量要求的不同，HTR系列可分为6200，5100/5200，4500/4900，2400/2600等；可处理4"~10"的基片，每管处理能力分别可达25片、50片或100片；根据配置不同的工艺气源及温度控制范围，各型号的产品均可用于LPCVD、扩散及氧化等热处理反应工艺。

产品的典型应用：
· 氮化硅（Si3N4: Silicon Nitride)
· 多晶硅 (Ramped temperature poly)
· 多晶硅 Uniform grain poly ( flat temp)
· TEOS（正硅酸乙脂）
· VLTO
· BPSG（硼磷硅玻璃）
· 高温氧化层 (with or without external torch)
· 掺杂扩散 （3-4路液相掺杂管路 ( POCL3 or BBR3)）
· 5-6路TCA或Hcl气路
· 两路混合气体退火
· 高温热回火
· 低温退火和处理
· 合金化