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发布时间:2012-04-14
诚光学制品有限公司 联系电话:135 8081 6550 联系座机:2310 6300 联系地址:东莞市茶山镇南社大道15号 是此校正片技术规格 尺寸:550*450mm ,540*420mm 厚度:4.8mm , 3.0mm 光刻板基材:Quartz;Soda Lime 最小线宽:1.0um 接触孔:1.5*1.5um Cd公差:正负0.1um 均一性(范围):0.12um 套刻精度:0.12um 缺陷大小:0.8um缺陷密度:0.6DPSI