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关 键 词：ZAO靶材
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发布时间：2013-06-03
ZAO靶材 纯 度：≥4N（99.99％） 密 度：＞5.3 g/cm3 配 比：ZnO: Al2O3 =98:2（wt%）或其它配比； 主要用途：透明导电薄膜，性能与ITO靶相似，有可能替代价格昂贵的ITO靶材；可用于制备低辐射玻璃、低辐射膜；用于薄膜型太阳能电池。
