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关 键 词：腐蚀机
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发布时间：2011-09-17
设备主体由德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工而成。可去除工件表面的油污及其他有机物、除胶、去金属离子等。该设备适用于2—8英寸硅晶圆片的清洗腐蚀,关键部件采用进口件，包括气动阀，PFA管道，保证工作介质的洁净度，避免杂质析出。工艺过程全自动，由机械臂负责工件在槽体间的转换，除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成。可存储多条工艺时序，方便使用。人机界面为触摸屏，方便直观
