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关 键 词:工艺控制系统
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发布时间:2013-09-16
可以对镀膜过程中的真空度、气体流量、电源电压电流占空比参数、真空度、温度等各个重要工艺参数进行设定、修改、存储、查看、打印等各种操作,并可以根据不同的工艺要求保存不同的参数组进行调用,有效保证了工艺的稳定性和连续性。